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監(jiān)測超凈半導(dǎo)體環(huán)境的污染物控制解決方案(二)

2023-02-13
2109
深圳市億天凈化技術(shù)有限公司
  監(jiān)測超凈半導(dǎo)體環(huán)境的污染物控制解決方案(二)
 
  半導(dǎo)體制造
 
  Semiconductor Manufacturing
 
  半導(dǎo)體短缺和半導(dǎo)體更小的工藝節(jié)點競爭。集成電路(IC)的短缺要求從制造過程中獲得更多的產(chǎn)出,因此行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)者則在競爭更小的工藝節(jié)點。這些挑戰(zhàn)要求對空氣中的顆粒物污染進行監(jiān)測,以確保產(chǎn)品無風險,產(chǎn)量(產(chǎn)品良率)提升,順利通過潔凈審核。TSI通過我們的高靈敏度粒子計數(shù)器提供從納米粒子到亞微米粒子等完整的環(huán)境監(jiān)測解決方案,滿足半導(dǎo)體短缺和更小工藝節(jié)點的競爭需求。
 
  監(jiān)測超凈半導(dǎo)體環(huán)境的污染物控制解決方案(二)
 
  TSI 10 nm潔凈室凝聚核粒子計數(shù)器(CPC)和0.1 μm粒子計數(shù)器(遠程粒子計數(shù)器和便攜式粒子計數(shù)器)是滿足半導(dǎo)體行業(yè)關(guān)鍵需求的最佳組合。
 
  TSI 提供高靈敏度粒子計數(shù)器近60 余載,比任何其他粒子計數(shù)器公司歷史更悠久。TSI儀器被用于世界各地國家級標準實驗室,這些實驗室要求卓越的準確性、重復(fù)性和可靠性。 絕不妥協(xié)于任一制造過程——相信TSI會監(jiān)測到一切。
 
  您值得信賴的0.1µm測量
 
  1.0CFM (28.3 L/min)的AeroTrak®遠程粒子計數(shù)器7110型和AeroTrak®便攜式粒子計數(shù)器9110型能夠滿足半導(dǎo)體潔凈室應(yīng)用的苛刻要求。兩款儀器均為您提供4年激光器保修。
 
  監(jiān)測超凈半導(dǎo)體環(huán)境的污染物控制解決方案(二)
 
  AeroTrak® 遠程粒子計數(shù)器7110型
 
  AeroTrak? 遠程粒子計數(shù)器7110型
 
  7110 型遠程粒子計數(shù)器的檢測精度可低至 0.1 μm!此款儀器采用具有提高的信噪比的專利 HeNe 激光技術(shù)實現(xiàn)。此款儀器專用于無塵室監(jiān)測、過程監(jiān)測及過濾器測試應(yīng)用領(lǐng)域。此外,由于此款粒子計數(shù)器與外部真空源一起使用,因此置放和配置系統(tǒng)具有極大的靈活性。
 
  粒子計數(shù)數(shù)據(jù)能夠輕松連續(xù)傳輸?shù)?TSI FMS 5 之類設(shè)備監(jiān)測系統(tǒng)中,進行安全的數(shù)據(jù)采集和分析。特別是,當它與 FMS 5 整合時,您會擁有一個具備統(tǒng)計過程控制等特點的強大生產(chǎn)力工具。這些粒子計數(shù)器還能存儲多達 2000 條樣本記錄。
 
  7110 型符合 ISO 21501-4 中規(guī)定的所有嚴格要求。它通過 NIST 可溯源 PSL 球進行校準,采用粒子檢測公認標準,即 TSI 的世界級分級器和凝聚核粒子計數(shù)器標準。
 
  AeroTrak® 便攜式粒子計數(shù)器9110型
 
  AeroTrak? 便攜式粒子計數(shù)器9110型
 
  9110 型便攜式粒子計數(shù)器檢測精度可低至 0.1 μm!9110型完全遵從 ISO-14644-1 標準,是 1 級和 2 級潔凈室分級的最佳選擇。這款儀器適用于潔凈室監(jiān)測、過程監(jiān)控和過濾器測試應(yīng)用。
 
  9110 型可以通過打印機和配套的 TrakProTM Lite Secure 下載軟件生成符合 ISO 14644-1 標準的通過或非符合的報告。它不僅可以作為單機粒子計數(shù)器使用,也可以集成于諸如 FMS 5 等在線粒子監(jiān)測系統(tǒng)。數(shù)據(jù)存儲量可達250 個區(qū)域,999 個位置和 10,000 個樣品。
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